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玻璃基版特性（SUBSTRATE CHARCTERISTICS) |
 基版尺寸（Plate
Dimension） |
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尺寸代码（Dimension Code）
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标准尺寸(Standard Dimension)
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边长（Size）
|
厚度(Thickness)
|
|
公制（mm）
|
英寸（inch）
|
公制（mm）
|
英寸（inch）
|
|
min
|
max
|
min
|
max
|
min
|
max
|
min
|
max
|
|
5009
|
5.0×5.0×0.09
|
126.24
|
127.00
|
4.970
|
5.000
|
2.20
|
2.40
|
0.086
|
0.094
|
|
6009
|
6.0×6.0×0.09
|
151.64
|
152.40
|
5.970
|
6.000
|
2.20
|
2.40
|
0.086
|
0.094
|
|
6012
|
6.0×6.0×0.12
|
151.64
|
152.40
|
5.970
|
6.000
|
2.95
|
3.15
|
0.116
|
0.124
|
|
6025
|
6.0×6.0×0.25
|
151.64
|
152.40
|
5.970
|
6.000
|
6.25
|
6.45
|
0.246
|
0.254
|
|
7012
|
7.0×7.0×0.12
|
177.04
|
177.80
|
6.970
|
7.000
|
2.95
|
3.15
|
0.116
|
0.124
|
|
| |
| 基版正方度（Squareness
of Substrates）： |
| 小于0.015"/ 1" (Better
than 0.015"/1") |
| 基版棱边（Edges
of Substrates） |
| 基版斜磨刻和倒角45°（Ground and chamfered
45°on all substrates） |
| 基版平行度（Parallelism
of Substrates） |
 |
|
 |
|
| 基版平面度（Flatness
Availability of Substrates） |
|
尺寸代码(Dimension Code）
|
平面度(Flatness)
|
|
人造石英玻璃(Quartz Glass)
|
苏打玻璃(Soda Lime Glass)
|
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0.25μm
|
0.5μm
|
1μm
|
2μm
|
5μm
|
2μm
|
3μm
|
5μm
|
6μm
|
15μm
|
|
5009
|
|
|
|
|
|
●
|
●
|
●
|
|
|
|
6009
|
|
|
|
●
|
●
|
|
●
|
|
●
|
|
|
6012
|
●
|
|
|
●
|
●
|
|
●
|
|
●
|
|
|
6025
|
●
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
|
|
|
|
|
7012
|
●
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
●
|
|
●
|
|
|
| 基版光透射曲线（Spectral
Transmission Curve） |
 |
|
|
玻璃基版成份（SUBSTRATE COMPOSITIONS） |
|
玻璃基版类型(Substrate Type)
|
|
|
|
|
|
RO
|
膨胀系数
(coefficient of expansion)
|
|
人造石英玻璃(Quartz Glass)
|
100
|
|
|
|
|
|
|
|
低膨胀玻璃（Low Expansion Glass）
|
60
|
15
|
5
|
1
|
1
|
18
|
|
|
苏打玻璃(Soda Lime Glass)
|
73
|
1
|
|
15
|
1
|
10
|
|
|
|
|
铬膜性能（CHROME METALLIZATION） |
| 标准低反射铬膜类型的性能（Properties
of Standard Anti-Reflective Chrome FilmType("ARC")） |
|
性能项目（Item）
|
条件(Condition)
|
标准值（Standard Value）
|
|
膜厚度（Film Thickness）
|
|
100±8 nm
|
|
光密度（Optical Density）
|
450nm
|
3.0±0.2
|
|
反射率（Reflectivity）
|
436nm
|
10±2%
|
|
方块电阻（Sheet Resistance）
|
四探针（four-point probe）
|
＜26Ω/ sq
|
|
湿刻蚀时间（Wet Etching Time）
|
手动（Manual）
|
50±3 sec
|
|
横向腐蚀速率（二侧面）（Undercut Rate ( both sides
) ）
|
APT
|
＜0.07μm／10 s
|
|
耐化学腐蚀性（Chemical Resistance）
|
|
＞120min
|
|
|
＞120min
|
|
| 针孔分类（
Pinhole Specification） |
|
类 型(Type)
|
针孔大小(Pinhole Size)
|
单 位（Unit）
|
针孔个数（Pinhole pcs）
|
|
标准型(Standard Type)
|
1μm - 4μm
|
pcs / cm2
|
< 0.05
|
|
低密度型(Low Density Type)
|
≥ 1.5 μm
|
pcs / cm2
|
零(None)
|
|
零缺陷型(Zero Defect Type)
|
≥ 1.0 μm
|
pcs / cm2
|
零(None)
|
|
| 反射率（
Spectral Reflectance） |
 |
| |
|
光刻胶（RESIST COATING） |
| 标准胶(Standard
Resists) |
|
分类(Type)
|
胶类型（Resist）
|
厚度（Thickness）
|
|
额定值（Nominal）
|
均匀性（Uniformity）
|
|
正性光学胶（Positive Photo）
|
AZ P1350
|
500 nm±5%
|
< 20nm
|
|
AZ 1500
|
500 nm±5%
|
< 20nm
|
|
S 1805
|
500 nm±5%
|
< 20nm
|
|
I P 3600
|
450 nm±5%
|
< 20nm
|
|
正性电子束胶（Positive E-Beam）
|
P B S
|
250/400 nm±3%
|
< 10nm
|
|
EBR-9
|
550 nm±5%
|
< 20nm
|
|
PMMA AR-P669
|
550 nm±5%
|
< 20nm
|
|
PMMA Copolymer AR-P610
|
550 nm±5%
|
< 20nm
|
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| 缺陷密度（
Defect Density） |
|
尺寸代码(Size Code)
|
方形质量区(Square Quality Area)
|
缺陷密度(Defect Density)
|
|
5009
|
107×107
|
0 ＞ 0.3μm
0 ＞ 0.5μm
0 ＞ 0.8μm
0 ＞ 1μm
0 ＞ 2μm
|
|
6009
6012
6025
|
127×127
132×132
|
|
7012
|
157×157
|
|
| |
公司地址：湖南省长沙国家高
+86-731-8998268
