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基版玻璃类型（GLASS
SUBSTRATE TYPE） |
| 苏打玻璃(Soda Lime Glass)：202.8×202.8
mm ～ 550×650 mm ,方形质量区（Square Quality Area .） |
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玻璃基版特性（GLASS
SUBSTRATE CHARCTERISTICS） |
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缺陷种类（Defect Type）
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尺寸（Size）
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规范值（Quantity）
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气泡（Bubble）
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A：＞20μm
B：＞50μm
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0
0
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A：≤20μm
B：≤50μm
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≤8pcs
≤8pcs
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坑（Pit）
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A：≥20μm
B：≥50μm
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0
0
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夹杂物（Inclusion）
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≥ 30μm
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0
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玻璃破碎（Glass chip）
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≥ 2 mm
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0
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平面度（FLATNESS AVAILABILITY） |
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等级（Grade）
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平面度（ Flatness）
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A
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≤ 20 μm
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B
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≤ 50 μm
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C
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≤ 70 μm
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针孔密度（
PINHOLE DENSITY） |
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等级（Grade）
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针孔尺寸（Pinhole Size）
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规范值（Density）
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A
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5 ～ 10 μm
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≤0.01 pcs／  |
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10 μm over
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None
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B
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10 ～ 30 μm
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≤0.01 pcs／ |
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30 μm over
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None
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C
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50 μm over
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None
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光刻胶（
RESISTS COATING） |
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分类(Type)
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胶类型(Resist)
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厚度(Thickness)
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额定值（Nominal）
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均匀性（Uniformity）
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正性光学胶
（Positive Photo）
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AZ 1500
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1000 nm±5%
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± 10 %
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AZ TFP 650
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1000 nm±5%
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± 10 %
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公司地址：湖南省长沙国家高
+86-731-8998268
